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智能程控勻膠機.

更新時間:2020-07-14      點擊次數:3239

智能程控勻膠機 型號:SC-100A

智能化設計、高配置、高穩定性機型。 
  PC控制系統,更好的可操控性可編程設計。 
  5“人機界面,全中文操作系統,更方便操作。 
  適合多種材料勻膠、制版工藝。   
廣泛應用于微電子、光電子、通訊、微機械、材料科學及新能源等領域 
  采用無刷伺服電機,全閉環數字編碼器測速機構,實測整個過程馬達速度。 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹,便于清洗。 
  排風和抽氣系統位于載片臺底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。透明可視密封蓋可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發。 
  配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口,由界面集中控制。 
  旋涂程序:用戶可通過PC界面設置和存儲工藝參數,可存儲15組參數,支持多段速。 
  轉動速度:0-5,000rpm 
  旋涂加速度:0-5000rpm/sec,加、減速時間可自由設置(0-20000ms) 
  轉速穩定度  ±1rpm 
  測速精度<0.2rpm 
  工藝時間設定: 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度 
  可鍍膜尺寸5mm-200mm(8〞) 
  旋涂作業均勻性:< ±3%                                                          
  支持基片厚度≤5mm 
  勻膠腔室內徑:Ф260mm ,不銹鋼材質、可視透明上蓋 
  抽氣接口: Ф8mm快速接頭,配Ф8mm透明抽氣管 
  樣片托:根據實際尺寸定制。 
  真空泵:配100L/min無油真空泵一臺 
  電源輸入: AC220V/240V 50HZ  
  整機功率:630W (真空泵230W  主機400W) 
  機身重量:11Kg   
  真空泵重:6.0Kg  
  設備尺寸:280×360×240mm

 

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