離子去膠機(jī) 型號(hào)：PR-3

通過(guò)等離子體方法，對(duì)陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng)，主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)等部分組成。  
離子去膠機(jī) 射頻電源采用RF500W電源控制。  
氣路系統(tǒng)采用兩臺(tái)浮子流量計(jì)控制氣體進(jìn)氣。
 腔室結(jié)構(gòu)：臥式、純石英
 真空室規(guī)格：F210′300mm
 限真空：1Pa（環(huán)境濕度≤55%）
 真空系統(tǒng):機(jī)械泵
 大裝片直徑: F4英寸
  大裝片容量：4英寸 25片/爐
 去膠速率: ～500A/min
 去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內(nèi))
 操作方式:手動(dòng)方式
用戶可選配全自動(dòng)控制方式

產(chǎn)品名稱：標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī) 臺(tái)式勻膠機(jī) 產(chǎn)品型號(hào)：SC-1B

標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)  臺(tái)式勻膠機(jī) 型號(hào)：SC-1B

SC-1B標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)主要適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆，各種光刻膠表面膜制備。  
   采用變頻技術(shù)控制旋涂速度與時(shí)間，有效控制膠的厚度、均一性。可應(yīng)用于各研究領(lǐng)域前期研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)。
主 要 技 術(shù) 指 標(biāo)1. 控制顯示：LED數(shù)字控制器，用戶可通過(guò)控制器進(jìn)行參數(shù)修改設(shè)置
2. 勻膠模式：可同時(shí)輸入七組數(shù)值，即轉(zhuǎn)速及勻膠時(shí)間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔，轉(zhuǎn)速啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)（Ⅰ檔），然后自動(dòng)執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔，直至達(dá)到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。
3．勻膠時(shí)間：1～9999s任意時(shí)間可設(shè)置
4．勻膠速度：0～8000rmp可調(diào)
5．旋轉(zhuǎn)加速度：0～8000rpm/sec 由低速到高速加速時(shí)間0.1s～0.5s
6．轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1rmp
7．涂膠均勻性：±3%
8．可鍍膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞）
9．基片厚度：  ≤5mm
配 置 參 數(shù)1．設(shè)備配置Ф200mm接膠裝置
2．電機(jī)功率：90W，額定轉(zhuǎn)速8000rmp
3．真空泵：FY-1C旋片式真空泵，抽速60L/min(用戶可選配無(wú)油型真空泵)
4．樣片托：標(biāo)配1英寸一個(gè)，2英寸一個(gè)，其它規(guī)格按要求定制
5．輸入電源： AC220V/240V  50HZ
6．整機(jī)功率：100W
7．機(jī)身尺寸： 280×360×240mm
8．機(jī)身重量：10Kg

過(guò)濾效率測(cè)試儀型號(hào)：GB32610
一、主要用途：  
過(guò)濾效率測(cè)試裝置用于日常防護(hù)型和呼吸器對(duì)顆粒物的防護(hù)效果及過(guò)濾效率的測(cè)試。用于日常防護(hù)型、醫(yī)用、呼吸器對(duì)顆粒物過(guò)濾效率的測(cè)試。適用于醫(yī)療器械檢驗(yàn)中心、安全防護(hù)檢驗(yàn)中心、勞動(dòng)防護(hù)檢驗(yàn)中心、藥品檢驗(yàn)中心、疾病預(yù)防控制中心、紡織品檢測(cè)中心、醫(yī)院、和呼吸器生產(chǎn)企業(yè)等。  

二、應(yīng)用范圍：  
  適用于醫(yī)療器械檢驗(yàn)中心、 安全防護(hù)檢驗(yàn)中心、 勞動(dòng)防護(hù)檢驗(yàn)中心、 藥品檢驗(yàn)中心、疾病預(yù)防控制中心、醫(yī)院、和呼吸器生產(chǎn)企業(yè)等。  

三、適用標(biāo)準(zhǔn)：  

GB 32610-2016 日常防護(hù)型技術(shù)規(guī)范  

GB 2626-2006 呼吸防護(hù)用品-自吸過(guò)濾式防顆粒物呼吸器  

GB 19082-2009 醫(yī)用一次性技術(shù)要求  

GB 19083-2010 醫(yī)用防護(hù)技術(shù)要求  

YY 0469-2011 醫(yī)用外科  

四、技術(shù)參數(shù)：  

1、 采用冷發(fā)生氣溶膠發(fā)生器產(chǎn)生出連續(xù)穩(wěn)定的氣溶膠粒子，加注溶液方便。  

2、 采用高精度激光傳感器對(duì)氣溶膠濃度進(jìn)行測(cè)量。  

3、 全程顆粒物防泄漏設(shè)計(jì)，保護(hù)實(shí)驗(yàn)人員安全。  

4、 氣溶膠發(fā)生器 2 套：鹽性顆粒物氣溶膠發(fā)生器和油性顆粒物氣溶膠發(fā)生器。  

5、 配有氣溶膠顆粒物靜電荷中和裝置。  

6、 氣動(dòng)夾具并配有保護(hù)裝置，使用安全方便。  

7、 配置溫濕度傳感器，實(shí)時(shí)顯示環(huán)境溫濕度  

（溫濕度要求：25℃±5℃，30%RH±10%RH）。  

8、 配置精密流量計(jì)、真空泵、激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器。  

9、 過(guò)濾效率檢測(cè)范圍：0-99.999%。  

10、過(guò)濾效率檢測(cè)流量計(jì)范圍（10-100）L/min，精度 2.5 級(jí)。  

11、過(guò)濾效率采樣頻率：1-9999 次/min 可任意設(shè)置。  

13、儀器準(zhǔn)確度等級(jí)（精度等級(jí)）：1 級(jí)  

14、控制系統(tǒng)：友好的人機(jī)界面控制試驗(yàn)過(guò)程，自動(dòng)采集數(shù)據(jù)。  

15、系統(tǒng)自動(dòng)測(cè)試氣體濃度，自動(dòng)計(jì)算過(guò)濾效率；可保存、輸出、查詢、打印測(cè)試數(shù)據(jù)。  
16、電源： AC220V 50Hz  

五、系統(tǒng)功能  
1、效率檢測(cè)  

2、阻力檢測(cè)  

3、密合度檢測(cè)